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3 晶圓傳送盒（FOUP） Stage 設備前端模塊（EFEM）加載互鎖真空室(LOAD LOCK Chamber, 除氣或者冷卻)2 轉(zhuǎn)移室（Transfer Chambers）2 Slot Pass-Thru Stage除氣室或者冷卻室...

* 考慮到CVD/ETCH各Part，具備多樣化和  優(yōu)化的陽極氧化條件的特性。 ? 5個（X2）陽極氧化bath（藥物差異） ? >擁有10個Recipe ? 擁有經(jīng)過驗證的量產(chǎn)前/后處理技術(shù)...

* 電極/Shower plate/Liner對應可能   ? 構(gòu)建獲得驗證的設備  ? 擁有獲得驗證的Coating條件  ? 不僅擁有ECCP，也擁有可以對應ICP 部件的Coating條件&nb...

*擁有精密清洗技術(shù)擁有多樣的藥物清洗條件擁有高壓清洗及自動干燥設備擁有潔凈室及潔凈室內(nèi)Clean oven金屬及Ceramic清洗都可使用現(xiàn)有PVD零件清洗Infra* 擁有平面研磨及拋光技術(shù)擁有2臺獲得驗證的自動研磨機確保研磨專家/熟練者...